真空热处理件是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理件所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理件是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理件可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。

   真空热处理件工艺过程多数是周期作业，是一项集体操作。因此，热处理工艺加工存在着工作界限不明确，如一批零件淬火可能由两个班次完成，淬火和回火常常由两个班次完成等，加之作业人员素质参差不齐，管理措施小够完善，生产过程中经常会出现质量问题。而出现问题后，分析问题，查找原因，不仅费时、费力，有时甚至找不出真正的原因。

   每种工件都必须从以上三种热处理方式上去综合的考虑，才能得到优的热处理方案。如：模具钢H13做模具时需要选择真空加热高温淬火，对零件尺寸要求严的产品还要追加一次冷处理；40Cr需要选择箱式炉加热中温淬火，要求严的产品需要选择真空中温油淬；CrMnTi需要选择渗碳再中温加热淬火；38CrMnAl则需要渗氮处理。

   零件经真空热处理件后，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。因此真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等，经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40～400%，而有许多工具的寿命可提高3～4倍左右。此外，真空加热炉可在较高温度下工作，且工件可以保持洁净的表面，因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。